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[发明专利]测量方法-CN202111092032.5在审
发明人：霍生彦;王传何;王冠;赵林;平国生 -专利权人：上海外高桥造船有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01C15/02 文献下载
摘要：本申请涉及船舶建造领域，尤其是涉及一种测量方法。测量方法用于测量船舶分段的关键点，船舶分段具有供制造参照的原有模型，包括：第一测量步骤，选取第一观测位置、对两个观测对象和所述第一个关键点进行测量；第二测量步骤，选取第二观测位置、对两个观测对象和所述第二个关键点进行测量根据本申请的测量方法，解决了现有的测量方式中，每次转站都需重新布置标靶的位置，不仅麻烦费力，而且在分段与分段之间摆放的太过紧凑时，标靶布置的位置也很难寻找的问题。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN202111326951.4在审
发明人：李智勇;龚诗;陈伟康;冯剑坤;郑兴峰;赵丹蕾;金叶;李云艳 -专利权人：上海外高桥造船有限公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B63B73/20 文献下载
摘要：本发明提供一种测量方法，涉及船舶制造领域。测量方法包括：误差确认步骤，基于第一板件、第二板件和第三板件三者的连接强度要求，获取安装位置相对于基准位置的允许安装误差；标定步骤，获取第三板件所在的位置，将基准位置设置为相对于第三板件沿着背离第三板件的板面的方向偏移标定距离；测量步骤，设置量具，将量具的一侧部贴合于第一板件和第三板件二者中的一者，利用量具的与一侧部间隔开的部分与一侧部共同度量，以获取安装位置与基准位置之间的实际距离，并计算实际距离相对于标定距离的偏差是否满足允许安装误差，根据本申请的测量方法解决了对基准位置和安装位置之间距离进行测量时误差相对较大的问题，实现了对安装误差的精准测量。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201310438649.7在审
发明人：许亮 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-09-23 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提出了一种测量方法，将待检测点平均分布于晶圆同心圆上，在对一待检测点检测完毕后，只需通过半导体晶圆自转一定角度便能够达到下一待检测点，并对其进行检测，无需半导体晶圆进行多次位移，因此能够降低测量时间
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201410603309.X在审
发明人：吴景晖;姚力军;杜全国 -专利权人：宁波创润新材料有限公司
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： C25C7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种测量方法，包括：向熔盐电解槽中加入熔融盐；将测量棒伸入熔盐电解槽；定义测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0；测量棒上附着的熔融盐高度为熔融盐液面高度；加入电解固体物；将测量棒伸入熔盐电解槽；定义测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1；基于A0与A1的差值以得到熔盐电解槽内电解固体物的高度。本发明的有益效果在于：只需要伸入测量棒即可得知熔融盐液面高度和电解固体物高度，相对于现有技术更加简便，且不会像现有技术一样受到熔盐电解装置本身复杂结构的影响，测量结果更加准确；可以减少测量棒遭到腐蚀的程度
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201611113180.X在审
发明人：王燕;刘源;保罗·邦凡蒂 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明揭示了一种测量方法。本发明提供的测量方法，包括提供待加工产品，所述待加工产品具有相对的第一面和第二面；测量所述待加工产品的初始厚度d1；在所述第一面上形成第一材料层，同时会在所述第二面上形成赘余材料层，所述赘余材料层的厚度小于0.3μm；测量所述第一材料层的厚度d2；测量所述待加工产品的最终厚度d3；计算所述赘余材料层的厚度Δd＝d3‑d2‑d1。由此，相比现有技术，可以达到简单快速的测量得到形成的赘余材料层的厚度，优化了测量过程，节省了时间、人力和物力，有助于高效生产。 1
测量待加工产品材料层第一材料测量过程高效生产第二面优化

[发明专利]测量方法-CN202011109904.X在审
发明人：谢鸿志;龙俊良 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：此处公开一种测量方法，更具体地提供叠对计量工具与绕射为主的叠对测量法。工具包括产生入射光的光源，其照射晶圆的材料层中堆叠的叠对目标。工具亦包括感光系统，用于测量自晶圆表面反射的绕射光束特性。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN202180016064.9在审
发明人：约翰·查尔斯·乌尔德;R·克罗斯兰 -专利权人：瑞尼斯豪公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：一种确定人工制品的弯曲特征的形状测量值的方法。该方法包括：定位设备使人工制品和测量装置在第一方向上沿着弯曲路径相对移动，以沿着弯曲特征的表面获得第一数据点集；以及定位设备使人工制品和测量装置在与该第一方向相反的第二方向上沿着弯曲路径相对移动，以沿着弯曲特征的表面获得第二数据点集该方法进一步包括使用第一数据点集和第二数据点集来确定人工制品的形状测量值。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN202180057125.6在审
发明人： R·D·特纳;安德鲁·杰弗里·巴特 -专利权人：瑞尼斯豪公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01B5/012 文献下载
摘要：一种用于对零件的至少一个特征进行检查的方法，该至少一个特征具有预定标称形状，该方法包括：i)将接触探头加载到坐标定位设备的探头安装件上，该探头安装件被配置成有助于使对其上的探头进行更换、并且被配置成有助于使该探头安装件与零件在三个正交自由度上进行相对移动，该接触探头包括用于接合零件的参照构件，并且该接触探头进一步包括触针，该触针可相对于该参照构件偏转、并且具有用于接触待测量表面的端头，其中，该端头与该参照构件的相对位置被转换；ii)使接触探头的参照构件和触针与零件在特征的一个侧面上接触，然后使触针横穿该特征，同时收集与端头和参照构件的相对位置有关的测量数据；以及iii)从测量数据中提取关于该特征的尺寸信息、并将所提取的尺寸信息与零件的特征的标称形状的标称尺寸信息进行对比。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN200810189511.7有效
发明人：南部英高 -专利权人：恩益禧电子股份有限公司
申请日： 2008-12-29 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： G01B11/22 文献下载
摘要：提供了一种用于提供凹部的几何形状的精确确定的测量方法，其包括：测量形成在绝缘膜中的凹部的侧壁相对于其底表面的角度(操作S1)；定义多个参数组，所述参数组包括凹部的侧壁相对于底表面的角度、宽度尺寸和深度尺寸在库的参数组中凹部的侧壁相对于其底表面的角度是操作S1中的测量值。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201210174109.8有效
发明人：伍强;刘畅 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种测量方法，包括：将表面形成有光刻胶层的晶圆置于检测台上，所述光刻胶层上形成有光刻胶图案；通过扫描电镜对晶圆上待测图案的线宽进行两次测量，并将第一次测量的测量数据记为第一测量数据、将第二次测量的测量数据记为第二测量数据；判断第一测量数据是否在第一参考值范围内以及第二测量数据是否在第二参考值范围内，并在第一测量数据、第二测量数据分别在第一参考值范围、第二参考值范围内时，将第一测量数据与第二测量数据进行比较，获取测量结果本发明测量方法在获取晶圆上光刻胶图案线宽的同时能够确定光刻胶图案的形状，提高了测量的准确性和有效性。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201210024625.2有效
发明人：拉尔夫·比特;卡米尔·黑费斯;托马斯·赫纳;马丁·基翁克 -专利权人：西门子公司
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： G01N27/74 文献下载
摘要：一种测量方法，在测量链的开始阶段获取测量变量(S)，并在测量链的进程中通过转换将其进一步加工处理成测量结果(E)，在测量链的第一位置(5)上，利用预设的调制频率(f₀)对原始的或者已转换的测量变量(S)进行调制，在测量链的、在进一步加工处理的方向上位于第一位置(5)后的第二位置(6)上，在已转换的测量变量(S1)上加上具有和调制时相同的频率(f₀)的变量(N)，但相对于调制偏移预设的相位角从而测量结果包括通过振幅和相位描述的矢量；利用测量变量(S)的不同已知值对测量链进行校准，获得定义特征曲线的不同矢量；和由特征曲线的点中查出测量变量的未知值，获得的矢量或者其延长线与特征曲线相交于该点。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201710088418.6有效
发明人：酒井裕志;渡边裕;高滨康弘;伊藤明正;工藤雄治 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2017-02-17 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了对有弯曲形状的目标物体测量距测量头的距离而测量所述目标物体的表面的方法，特征在于包括以下步骤：设定目标物体的测量范围和凹凸的阈值的步骤；获取包含目标物体的弯曲形状的形状基准数据的步骤；测量在测量范围中的目标物体和测量头之间的距离
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201511035913.8有效
发明人： A·梅兹纳里奇;B·冯沃尔德克奇;C·施莱皮;C·左斯;E·林德利斯巴赫尔;J·布赖滕施泰因;K·巴尔策;L·罗夫莱多;P·斯泰尔德;S·基里亚坦 -专利权人：哈格-斯特莱特有限公司
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： A61B3/10 文献下载
摘要：一种用于记录体特别是眼睛上的测量点的测量方法，通过测量光束沿着待测体体的表面特别是待测体的曲目上的轨迹记录测量点，用于确定轴向长度轮廓。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN201880024727.X有效
发明人： N·潘迪;廉晋;S·U·雷曼;M·J·J·贾克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了用于测量在衬底上形成的多个结构的方法和设备。在一种布置中，方法包括从第一测量过程获取数据。第一测量过程包括单独地测量多个结构中的每个结构以测量结构的第一特性。第二测量过程被用于测量多个结构中的每个结构的第二特性。第二测量过程包括利用具有辐射特性的辐射照射每个结构，辐射特性是使用针对该结构所测量的第一特性针对该结构单独地被选择的。
测量方法

[发明专利]测量方法-CN200710004730.9无效
发明人：塩出吉宏 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2007-01-26 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及测量方法。一种用于将具有不同偏振方向的多个线性偏振光束照射到目标光学系统上并用于测量目标光学系统的包含双折射量R和快轴Φ的偏振特性的方法包括以下步骤：将具有偏振方向角θ的线性偏振光束照射到目标光学系统上，并获得已透过目标光学系统的光束的重心量
测量方法

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